线性渐变滤光片镀制挡板设计

著录项

• 来源
  《真空与低温》 |2007年第1期|57-62|共6页
• 作者

  秦洁玉; 罗崇泰; 马勉军;

  展开▼
• 作者单位

  兰州物理研究所,表面工程技术国家级重点实验室,甘肃,兰州,730000;

  兰州物理研究所,表面工程技术国家级重点实验室,甘肃,兰州,730000;

  兰州物理研究所,表面工程技术国家级重点实验室,甘肃,兰州,730000;

  展开▼
• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 O484.22+1;
• 关键词

  薄膜厚度; 修正挡板; 设计;