硅微传感器耐高温技术研究
THE STUDY ON HIGH TEMPERATURE
摘 要
Abstract
目 录
第1 章 绪 论
1.1 课题背景及研究的目的和意义
1.2 国内外发展现状
1.3 研究主要工作
第2 章 SOI 压力传感器的工作原理和结构设计
2.1 压力传感器的工作原理
2.2 SOI 压力传感器结构设计
2.3 无引线封装结构设计
2.4 本章小结
第3 章 工艺研究与设计
3.1 工艺设计与制作
3.2 工艺研究及技术关键
3.3 本章小结
第4 章 测试原理与结果分析
4.1 传感器静态特性
4.2 温度特性
4.3 传感器数据处理方法
4.4 测试系统的组成及测试方法
4.5 本章小结
结 论
参考文献
哈尔滨工业大学学位论文原创性声明及使用授权说明
致 谢
个人简历
