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基于不确定度分析方法的硅微传感器设计方法研究

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基于谐振式硅微压力传感器敏感结构设计原理,结合不确定度分析方法,分析了各结构尺寸对敏感结构固有频率以及检测灵敏度的影响.建立基于样本的随机模型在考虑尺寸加工误差的同时,评估了谐振敏感结构各个结构尺寸传感器固有频率以及检测灵敏度的影响大小并进行了比较,从而获得了对传感器性能起关键作用的影响因素.以上的结果可以为相应传感器敏感结构设计与优化提供参考.

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来源
《第十四届全国压力计量与测试技术学术交流会》|2014年|13-1619|共5页
会议地点桂林
作者
史慧超; 樊尚春;
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作者单位

中国计量测试学会压力计量专委会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212.1:TP202;
关键词
硅微压力传感器; 敏感结构; 不确定度; 随机模型; 设计优化;

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