穆勒矩阵椭偏仪变角机构设计与实现

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目录

1 绪 论

1.1课题来源

1.2课题研究目的及意义

1.3国内外椭偏仪研究现状

1.4论文主要研究内容

2 穆勒矩阵椭偏仪变角机构结构设计

2.1椭偏仪测量原理

2.2现有产品概述

2.3变角机构设计方案

2.4电机选择

2.5本章小结

3 变角机构运动仿真分析

3.1引言

3.2仿真模型创建

3.3变角机构运动学仿真[29-34]

3.4变角机构动态仿真

3.5本章小结

4 变角机构有限元分析

4.1概述

4.2结构静力学分析

4.3结果分析

4.4模态分析

4.5本章小结

5 变角机构装配与测试

5.1整体装配与调试

5.2角度性能测试

5.3误差分析

5.4误差补偿措施

5.5本章小结

6 总结与展望

6.1全文总结

6.2展望

致谢

参考文献