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1 绪 论
2 晶圆级封装的结构设计与金属层生长工艺
3 焊料键合实现晶圆级封装
4 晶圆级封装皮拉尼真空计
5 晶圆封装的真空测试
6 总结与展望
致 谢
参考文献
孙亚男;
华中科技大学;
微机电系统; 晶圆级封装; 真空封装; 低温焊料键合; 真空计; MEMS器件;
机译:MEMS市场和技术趋势-使用室温键合的晶圆键合设备:实现支持高效生产的晶圆级封装
机译:MEMS和相关微系统的晶圆级真空封装的选择性键合和封装
机译:晶圆级MEMS封装的局部感应加热焊料键合
机译:MEMS和相关微系统的晶圆级和芯片级真空封装的激光辅助选择性键合
机译:用于芯片互连,晶圆级封装和互连层结构的电镀键合技术。
机译:通过胶粘晶圆键合为MEMS和成像传感器提供经济高效的晶圆级封盖
机译:通过粘合剂晶圆键合实现mEms和成像传感器的低成本晶圆级封顶
机译:用于界面力显微镜的混合传感器的晶圆级薄膜焊料键合
机译:MEMS晶圆级包装方法,具有MEMS装置的焊料
机译:发光二极管及晶圆级封装方法,晶圆级键合方法以及晶圆级封装的电路结构
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