摘要:微硅机械技术用于制造一种热加速度计,这种敏感器不需要任何固态的检测质量,且生产成本较低.一个加热的电阻器产生了对称的温度曲线,两个温度探测器置于电阻的两边;当受到加速度的时候,温度曲线变成了非对称,这两个探测器测量这种差分温度.用电子束蒸发的方法将铂(Pt)电阻沉积在SiNx薄膜上,用做加热器和温度敏感器.本文根据加热器-探测器的距离、电源功率和室温,给出了温度曲线的测量和灵敏度.结果表明:灵敏度正比于加热的功率,但当室温增加时,灵敏度则降低.同时,也给出了在倾斜仪和离心机中应用的实验结果.当施加一正弦加速度时,测量到20Hz的3dB带宽,并得到相等的加速度噪声为0.3mg(RMS).