单片三轴微加速度计优化设计与信号处理关键技术

封面

声明

目录

中文摘要

英文摘要

第一章 绪论

1.1 课题的研究背景与意义

1.2 国内外研究现状

1.3 前人的工作

1.4 本文主要工作及内容安排

第二章 单片三轴微加速度计结构分析

2.1 微加速度计的结构与工作原理

2.2 双倾斜悬臂梁支撑结构的力学分析

2.3 本章小结

第三章 单片三轴微加速度计工艺优化

3.1 微加速度计原加工工艺及存在的主要问题

3.2 预埋掩膜

3.3 中心支撑封装结构

3.4 本章小结

第四章 单片三轴微加速度计的信号处理与解耦算法

4.1 微加速度计的信号检测原理与方法

4.2 测控电路的硬件与软件设计

4.3 信号解耦算法

4.4 本章小结

第五章 单片三轴微加速度计的测试

5.1 测试系统

5.2 标定测试

5.3 性能测试

5.4 本章小结

第六章 总结与展望

6.1 全文总结

6.2 工作展望

致谢

参考文献

作者在学期间取得的学术成果

（一）学术论文

（二）参与的科研项目