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基于SOI的三轴压阻微加速度计的设计

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摘要

为了解决现有三轴加速度计机械精度差的问题,提出了一种基于SOI的单质量块三轴压阻微加速度计.采用四边四梁结构,根据梁上扩散的压敏电阻在分别受到三个方向惯性力作用时变化量不同设计三个方向的惠斯通电桥,实现三维加速度矢量的检测.运用ANSYS软件对结构进行建模仿真,最后设计了一套可行的工艺流程.

著录项

来源
《传感技术学报》 |2008年第3期|454-456|共3页
作者
石云波; 孟美玉; 刘俊; 马宗敏;
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作者单位

中北大学电子测试技术国家重点实验室,仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原,030051;

中北大学电子测试技术国家重点实验室,仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原,030051;

中北大学电子测试技术国家重点实验室,仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原,030051;

中北大学电子测试技术国家重点实验室,仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原,030051;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212.9;
关键词
压阻式; 三轴; SOI; 工艺;

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