声明
摘要
第一章 绪论
1．1 引言
1．2 二氧化钛的结构和性质
1．3 二氧化钛的应用
1．4 常用制备方法
1．4．1 化学气相沉积法
1．4．2 分子束外延法
1．4．3 脉冲激光沉积法
1．4．4 溶胶-凝胶法
1．4．5 阳极氧化法
1．4．6 磁控溅射法
1．5 本文的选题依据与研究内容
第二章 实验原理及试验方法
2．1 实验原理和制备方法
2．1．1 磁控共溅射原理
2．1．2 实验设备
2．1．3 制备方法
2．2 表征方法
2．2．1 X-射线衍射(XRD)
2．2．2 紫外-可见光分光光度计(UV-Vis)
2．2．3 扫描电子显微镜(SEM)
2．2．4 能谱仪(EDS)
2．2．5 原子力显微镜(AFM)
2．2．6 台阶仪
第三章 TiO2薄膜的制备及其光学特性
3．1 表面成分分析
3．2 溅射功率对TiO2薄膜的影响
3．2．1 制备条件
3．2．2 溅射功率对TiO2薄膜相组成的影响
3．2．3 溅射功率对TiO2薄膜透射谱的影响
3．3 氩气流量对TiO2薄膜的影响
3．3．1 制备条件
3．3．2 氩气流量对TiO2薄膜相组成的影响
3．3．3 氩气流量对TiO2薄膜透射谱的影响
3．4 溅射压强对TiO2薄膜的影响
3．4．1 制备条件
3．4．2 溅射气压对TiO2薄膜相组成的影响
3．4．3 溅射气压对TiO2薄膜透射谱的影响
3．5 溅射时间对TiO2薄膜的影响
3．5．1 制备条件
3．5．2 溅射时间对TiO2薄膜相组成的影响
3．5．3 溅射时间对TiO2薄膜透射谱的影响
3．6 小结
第四章 Zn掺杂二氧化钛薄膜制备及其光学特性
4．1 制备条件
4．2 表面成分分析
4．3 生长速率分析
4．4 组织结构分析
4．5 表面形貌
4．6 紫外-可见光吸收特性分析
4．7 小结
第五章 Cu掺杂二氧化钛薄膜制备及其光学特性
5．1 制备条件
5．2 表面成分分析
5．3 生长速率分析
5．4 组织结构分析
5．5 表面形貌
5．6 紫外-可见光吸收特性分析
5．7 小结
第六章 结论
致谢
参考文献
攻读硕士学位期间发表学术论文情况
