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激光光束质量评价方法与光束特性参数测量系统

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第一章绪 论

1.1研究背景

1.2研究现状

1.3课题来源与论文主要内容

第二章激光光束质量评价理论

2.1高斯光束的传输变换特性

2.2激光光束质量评价方法

2.3光束质量M2因子评价理论

第三章激光器光束质量测量技术

3.1系统总体方案

3.2系统设计

3.3系统误差分析

3.4实验测量

第四章半导体激光近、远场分布检测技术

4.1系统原理与总体方案

4.2系统设计

4.3系统误差分析

4.4实验测量

结 论

攻读硕士学位期间发表的学术论文和参加科研项目情况

致 谢

参考文献

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摘要

本文从高斯光束的传输变换特性出发,介绍了几种传统的激光光束质量评价方法,指出了它们的不足。在引入矩量分析理论的基础上,指出了光束衍射极限倍率因子M2作为光束质量评价标准的科学性和合理性,同时推导了光束参数的计算公式。根据拉赫不变量和高斯光束在自由空间的传输变换特性,采用高精度电控平移台带动两片高反射率45度反射镜平移来改变光程,从而实现测量轴向不同位置的激光光斑尺寸。采用具有宽光谱范围、高信噪比、高分辨率的CCD相机作为探测器件,根据轴向不同位置的光斑尺寸拟和双曲线方程,从而得出待测激光器的光束质量。采用所研制的激光器光束质量测量仪对He-Ne激光器的光束质量进行了测量。提出了半导体激光器近场腔面发光情况标示的方法,采用具有大探测面的变相管作为探测器,解决了大发散角非对称激光束的光场显示和检测难题。研制了基于变相管的半导体激光近远场分布测试仪,并对面发射和边发射半导体激光器的近远场分布进行了显示。

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