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计算机控制小工具抛光去除函数的优化设计及工艺研究

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第一章绪论

§1.1引言

§1.2计算机控制光学表面成形技术(CCOS)

§1.3国内外发展概况

§1.4论文的主要研究内容

第二章计算机控制小工具抛光技术理论

§2.1光学玻璃的抛光原理

§2.2 CCOS技术的理论基础

§2.3本章小结

第三章计算机控制小工具抛光去除函数的优化设计

§3.1引言

§3.2计算机控制小工具抛光技术中磨头去除函数的计算机模拟和优化

§3.3磨头驻留函数的求解方法

§3.4基于加工表面去除函数的仿真模拟方法

§3.5中心去除量不足的解决方法

§3.6边缘效应的解决方法

§3.7本章小结

第四章影响抛光效率因素分析

§4.1抛光粉、抛光模的选择及抛光液的配制

§4.2工件上盘的方法

§4.3抛光工艺研究

§4.4计算机控制加工实验

§4.5本章小结

第五章总结和展望

§5.1全文总结

§5.2展望

致谢

参考文献

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摘要

本文针对大口径非球面光学元件抛光,系统地分析了抛光机理,并归纳总结了国内外发展动态。重点对计算机控制小工具抛光加工方法进行了深入的分析和研究,根据Preston方程,建立两种运动方式的数学模型,对基于加工仿真的表面去除函数的模拟,得出了抛光加工工艺参数:经实际加工结果与模拟结果基本吻合,验证了此模拟优化方法的可行性,对实际的加工具有一定的指导性;同时对工件加工的边缘效应做了一定的分析,得出解决方法。制备出的光学玻璃元件达到的技术指标为:K9非球面光学镜片330mm×330mm,面形精度可达到λ/5:表面粗糙度Rq≤1.5nm。

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