光纤定位硅V型槽的设计与制作

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通过光纤把外部光源引入SOI集成光路时,为减少偶然因素对耦合效率的影响,需解决光纤定位问题,以及为提高多通道波导型器件、半导体激光器阵列、光开关阵列等与光纤的耦合效率问题,作者利用单晶硅材料,设计并制作出具有高精度光纤定位功能的硅V型槽及其阵列.该文围绕硅V型槽的设计和制作,从理论上详细分析了单模光纤与脊形波导的模式特点,得出最佳的耦合条件,在此基础上设计出最合适的硅V型槽结构.在实践上,对制作工艺积极探索,提出新的制备硅掩蔽膜的工艺方案,对影响光刻质量的因素深入分析.试验摸索出适用于V型槽的各向异性湿法腐蚀的腐蚀液配方,独立优化设计了制作硅V型槽的相关工艺,制作出高质量的硅V型槽.并展示了它广阔的应用前景和科研产品的开发价值.

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作者
郝永芹;
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作者单位

长春理工大学;

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授予单位长春理工大学;
学科凝聚态物理
授予学位硕士
导师姓名钟景昌;
年度 2002
页码
总页数
原文格式 PDF
正文语种中文
中图分类光纤元件;
关键词
光纤定位; V型槽; 掩蔽膜; 各向异性腐蚀;

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