基于正向曲率极大值法的石英AT-cut、BT-cut刻蚀结构研究

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摘要

ABSTRACT

第一章 绪论

1.1 研究背景与意义

1.2 国内外研究现状

1.2.1 石英各向异性湿法刻蚀研究现状

1.2.2 晶体各向异性刻蚀预测方法

1.3 论文研究目的与架构

1.3.1 论文研究目的

1.3.2 论文组织架构

第二章 石英湿法刻蚀基础及速率变化特征

2.1 石英晶体与特性

2.1.1 石英晶体结构

2.1.2 石英晶面表示

2.1.3 石英湿法刻蚀机理

2.2 石英半球湿法刻蚀

2.2.1 石英半球实验

2.2.2 石英晶面速率变化特征

2.3 本章小结

第三章 石英不同晶面刻蚀轮廓标定

3.1 石英晶片湿法刻蚀实验

3.1.1 掩膜设计

3.1.2 试验流程

3.2 矩形凹槽数据汇总

3.3 正向曲率极大值法

3.4 Z-cut晶片湿法刻蚀形貌标定

3.5 AT-cut、BT-cut切向晶面湿法刻蚀形貌标定

3.5.1 石英球旋转

3.5.2 AT-cut、BT-cut湿法刻蚀形貌计算

3.6 不同衬底刻蚀特征晶面间的关系

3.7 本章小结

第四章 石英微结构刻蚀及复杂结构面识别

4.1 石英复杂结构掩膜设计

4.2 凹腔体特征晶面分布规律

4.2.1 Z-cut凹腔体特征晶面分析

4.2.2 AT-cut、BT-cut凹腔体分析

4.3 凸台特征晶面分布规律

4.3.1 Z-cut凸台分析

4.3.2 AT-cut、BT-cut凸台分析

4.4 本章小结

第五章 刻蚀速率各向异性微观机制

5.1 不同刻蚀环境下轮廓计算

5.2 石英晶面刻蚀各向异性比较

5.3 本章小结

第六章 总结与展望

6.1 主要工作

6.2 展望

致谢

参考文献

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