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长脉冲激光致介质薄膜损伤机理与阈值测量研究

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1 引言

1.1介质薄膜激光损伤研究的背景及意义

1.2薄膜激光损伤研究现状

1.3损伤阈值测试方法的研究现状

1.4本文主要研究工作

1.5本章小结

2介质薄膜的激光损伤机理

2.1 光学材料对激光的吸收特性

2.2激光与介质薄膜相互作用的热效应

2.2.1薄膜的吸收过程

2.2.2激光在薄膜中的热分布

2.3激光与光学介质薄膜相互作用的场效应

2.4介质薄膜的激光损伤机制

2.5长脉冲激光作用下介质薄层中的温度场理论及其数值模拟

2.5.1 长脉冲激光的高斯分布函数

2.5.2长脉冲激光作用下介质薄膜的物理模型的建立

2.5.3数值计算

2.6影响介质薄膜激光损伤阈值的因素

2.6.1 介质薄膜方面的影响

2.6.2激光参数方面的影响

2.7本章小结

3激光损伤阈值测试方法研究

3.1损伤阈值的确定

3.1.1 50%损伤几率阈值

3.1.2零几率损伤阈值

3.2损伤阈值测试方法

3.3介质薄膜激光损伤判据

3.4系统主要参数的测定

3.4.1光斑尺寸的测试方法

3.4.2激光脉冲能量测量的测试方法

3.5本章小结

4介质薄膜在长脉冲激光作用下的损伤测试装置及测试步骤

4.1 长脉冲激光作用下介质薄膜损伤测试装置

4.1.1 MSP-1型四级联YAG长脉冲激光系统

4.1.2 MSP-1型四级联YAG长脉冲激光系统的激光能量控制

4.1.3激光能量密度的调节方式

4.2介质薄膜激光损伤实验的操作过程

4.2.1测试前的准备工作

4.2.2阈值测试过程

4.2.3损伤的判别

4.2.4损伤阈值的确定

4.3系统主要参数的测定

4.3.1激光脉冲能量的测量

4.3.2光斑尺寸的测试数据

4.3.3长脉冲激光脉冲波形及脉宽测量

4.4本章小结

5长脉冲激光作用下各类介质薄膜损伤实验研究

5.1 高反膜激光损伤的实验研究

5.1.1 高反膜的损伤特点分析

5.1.2 90283HR型高反膜损伤阈值的测量

5.1.3 90319HR型高反膜损伤阈值的测量

5.1.4损伤阈值测试结果分析

5.1.5高反膜的损伤形貌分析

5.2增透膜的激光损伤阈值测量

5.2.1增透膜的损伤阈值测量

5.2.2测试结果分析

5.2.3增透膜损伤形貌的分析

5.3 同种介质薄膜激光损伤阈值的重复性测试

5.4线性拟合与非线性拟合的零几率损伤阈值的比较

5.5长脉冲与短脉冲激光损伤的比较

5.5.1长脉冲激光与短脉冲激光损伤形貌的比较

5.5.2长脉冲激光与短脉冲激光损伤程度的比较

5.6本章小结

6全文总结

致 谢

参考文献

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摘要

本文从理论和实验方面研究了长脉冲激光对介质薄膜的损伤机理和特性,并对波长为1064nm的长脉冲激光产生的损伤阈值进行了测试研究。主要内容如下: ⑴采用脉宽为毫秒量级的MSP-1型四级联YAG长脉冲激光系统,按照国际标准ISO11254组建了介质薄膜损伤阈值测试系统。该系统可以选定不同的储能电容器组合初步控制激光输出能量,或利用衰减片衰减激光能量,还可以通过改变光斑尺寸的方法实现能量密度的进一步调节。而损伤判据则采用了等离子体闪光和相衬显微镜观察相结合的方法。 ⑵按照国际标准规定的1-on-1方法,测量了ZrO2/SiO2高反膜激光损伤阈值;进而分析了该高反膜具有较强的抗激光损伤能力的原因:ZrO2/SiO2高反膜的材料熔点高、强度大,且薄膜表面有SiO2作为保护膜,提高了介质薄膜的抗激光损伤能力。 ⑶通过实验测量了长脉冲激光致使Al2O3/SiO2增透膜产生的损伤阈值,且在实验中发现不仅增透膜的前、后膜层均有损伤,且基体损伤斑周围呈现片状的剥离状损伤的现象,认为在该损伤过程中热作用和热应力作用都是产生损伤的因素,进而分析了该现象产生的机理。 ⑷进行了同种介质薄膜激光损伤阈值的重复性测试,实验结果表明,90286型增透膜和90283型高反膜的损伤阈值均具有较强的一致性;将损伤阈值的线性拟合法与非线性拟合法进行比较,得到了样品的测试结果呈线性分布的特性,且直线拟合外推得到的零损伤几率阈值与实际情况基本一致。 ⑸在比较长脉冲激光和短脉冲激光分别作用于介质薄膜的损伤形貌以及损伤程度的差异后提出:长脉冲激光能够同时破坏薄膜的膜层和基体,而短脉冲激光一般只对膜层表面产生破坏。

著录项

  • 作者

    窦如凤;

  • 作者单位

    南京理工大学;

  • 授予单位 南京理工大学;
  • 学科 测试计量技术与仪器
  • 授予学位 硕士
  • 导师姓名 倪晓武;
  • 年度 2009
  • 页码
  • 总页数
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 中文
  • 中图分类 O432.12;
  • 关键词

    长脉冲激光; 介质薄膜; 激光损伤; 阈值测量;

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