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目录
第一章 绪 论
1.1多晶硅薄膜晶体管技术简介
1.2实验样品器件的制备工艺
1.3低频噪声研究现状简述
1.4论文主要工作及结构安排
第二章 半导体器件噪声的机制
2.1 噪声基础简介
2.2 半导体器件噪声分类
2.3 1/f噪声模型
2.4 本章小结
第三章 低频噪声的测试
3.1 测试系统介绍
3.2 测试操作流程
3.3测试结果
3.4 本章小结
第四章 多晶硅薄膜晶体管低频噪声建模
4.1模型的推导
4.2器件参数的提取
4.3模型的验证
4.4基于模型的器件表征
4.5本章小结
参考文献
第五章 结论及未来工作
攻读硕士学位期间发表的论文
致谢