声明
摘要
1.1课题研究的背景
1.1.1螺杆真空泵发展概述
1.1.2螺杆真空泵简介
1.2国内外研究现状
1.2.1国外研究现状
1.2.2国内研究现状
1.3本课题研究的内容和意义
1.3.1本课题研究的内容
1.3.2本课题研究的意义
第2章梯形齿转子螺杆真空泵级间泄漏通道的构成分析
2.1螺杆转子型线的介绍
2.1.1常用螺杆转子型线的构成
2.1.2梯形齿螺杆转子型线特点分析
2.2四种泄漏通道的构成分析
2.2.1齿顶与泵腔内壁间构成的泄漏通道L1
2.2.2齿顶与齿根间构成的泄漏通道L2
2.2.3共轭凹齿面间构成的泄漏通道L3
2.2.4两斜齿面间构成的泄漏通道L4
2.3抽气腔及泄漏通道中的气体流态分析
2.3.1气体流态的判定条件
2.3.2抽气腔及泄漏通道中气体流态的判定
2.4本章小结
第3章梯形齿转子螺杆真空泵级间泄漏过程的解析分析
3.1齿顶与泵腔内壁间泄漏通道的解析分析
3.1.1齿顶与泵腔内壁间泄漏通道数学模型的建立
3.1.2齿顶与泵腔内壁间泄漏通道数学模型的求解
3.2 L2、L3和L4泄漏通道的解析研究
3.2.1 L2、L3和L4泄漏通道数学模型的建立
3.2.2 L2、L3和L4泄漏通道数学模型的求解
3.3具体算例分析
3.3.1梯形齿螺杆泵的型号
3.3.2螺杆泵级间气体主要物性参数的求解
3.3.3泄漏量的数值计算与结果分析
3.4本章小结
第4章测量真空泵抽气速率方法的研究
4.1普通滴管式气体流量测量装置及方法
4.1.1普通滴管式气体流量测量方法回顾
4.1.2普通滴管式气体流量测量公式的精确计算
4.1.3普通滴管式实验装置误差分析
4.2称重法滴管式气体流量测量的装置及特点
4.2.1称重法滴管式气体流量测量装置的基本原理
4.2.2称重法滴管式气体流量测量装置特点
4.3称重法滴管式气体流量测量装置的实验测试
4.3.1实验装置简介
4.3.2实验操作步骤
4.3.3实验测试结果
4.4称重法滴管式实验装置误差分析
4.4.1电子秤测量精度的影响分析
4.4.2滴管内油液上升速度和滴管外油液下降速度的影响分析
4.4.3滴管和贮油杯直径的对测量结果的影响分析
4.5本章小结
第5章结论与展望
5.1研究结论
5.2研究展望
参考文献
致谢
附录