Bi2201薄膜厚度测定及择优取向的X射线法研究

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英文文摘

第1章 绪论

1.1 引言

1.1.1 高温超导薄膜概述及应用

1.2 研究现状与进展

1.2.1 薄膜厚度研究进展

1.2.2 薄膜择优取向测量研究进展

1.2.3 薄膜形核与外延机制的研究进展

1.3 本文研究目的及意义

1.3.1 本文研究目的

1.3.2 本文研究意义

第2章 实验原理与方法

2.1 样品制备

2.1.1 薄膜的制备方法

2.1.2 薄膜形核生长理论

2.2 样品表征手段

2.2.1 XRR测量薄膜厚度

2.2.2 X射线φ扫法原理

第3章 Bi2201薄膜制备前期工作

3.1 Bi2201薄膜制备前期工作

3.1.1 蒸发速率的测量

3.1.2 高浓度臭氧

3.2 Bi2201薄膜制备

3.3 Bi2201薄膜厚度研究

3.3.1 XRR法测量Bi2201薄膜厚度

3.3.2 XRR方法的精确性研究

3.4 本章小结

第4章 Bi2201薄膜择优取向研究

4.1 Bi2201择优取向的测量及面内错配情况

4.2 Bi2201在MgO(001)上的倾转

4.3 Bi2201薄膜择优取向性质随厚度的变化关系

4.4 本章小结

第5章 全文总结论

参考文献

附录

致谢