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第一章绪论
第二章实验设备和分析测试方法
第三章Ti/TiN薄膜的制备
第四章Ti/TiN/Ti(C,N)薄膜的制备
第五章Ti/TiN/Ti(C,N)/TiC薄膜的制备
第六章结论和建议
参考文献
致谢
攻读学位期间发表的学术论文
吴宇峰;
东北大学;
磁控溅射; 中频孪生靶; 离子束辅助沉积; 薄膜; 晶体结构; 硬质膜;
机译:离子辅助中频不平衡磁控溅射制备类金刚石碳膜
机译:研究中频脉冲不平衡磁控溅射制备的氢化非晶碳膜的结构和物理性能
机译:离子束辅助中频双靶不平衡磁控溅射沉积Ti-N-C薄膜
机译:直流磁控溅射氧化锌膜的制备与表征
机译:射频磁控溅射制备钛酸铋(BixTiyOz)膜的电位动力学极化研究和表面化学组成
机译:采用非平衡磁控溅射技术制备Cr / CrN纳米多层膜的非均衡磁/电性能溅射技术制备Cr-CrN纳米多层膜的电学性能
机译:离子束辅助沉积在陶瓷表面制备银膜的摩擦学行为。
机译:可以切换两种磁通分布模式(平衡模式/非平衡模式)的磁控溅射设备,使用该设备和双模式磁控溅射设备形成无机成膜材料的膜的成膜方法,以及使用该装置在低温下形成膜的无机成膜材料的成膜方法
机译:磁控溅射装置,用于使用该装置的无机薄膜材料的磁通量配置(平衡型/非平衡型)可切换成膜方法,以及用于非磁性薄膜的双型磁控溅射装置和成膜方法成型B
机译:具有双磁控溅射系统和离子束源同步的膜沉积装置
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