论文说明
声明
物理量名称及主要符号表
摘要
第1章 绪论
1．1 课题研究的背景及意义
1．2 纳米压印光刻技术的国内外研究现状
1．3 滚型纳米压印技术的研究进展
1．3．1 采用滚轴模具的滚对滚纳米压印
1．3．2 采用平板模具的滚对平面型纳米压印
1．3．3 其他滚型纳米压印工艺
1．4 课题来源
1．5 本文主要的研究内容
1．5．1 滚型纳米压印光刻机的总体设计及三维建模
1．5．2 滚型纳米压印模具变形机理的研究
1．5．3 PVA水溶胶的涂布仿真
1．5．4 薄膜张力控制
第2章 滚型纳米压印光刻机的总体设计及三维建模
2．1 PVA薄膜模具制造的方案设计
2．2 滚型纳米光刻机总体方案分析
2．2．1 性能指标
2．2．2 工艺范围
2．2．3 设备精度
2．2．4 生产率和自动化
2．3 光刻机主要功能模块
2．3．1 压印模块的模具辊
2．3．2 压印辊模具制造方法
2．3．3 压印模块的施压机构
2．3．4 涂布模块
2．3．5 PVA干燥成膜
2．3．6 机身的设计
2．4 本章小结
第3章 滚型纳米压印模具变形机理的研究
3．1 理论模型
3．1．1 硬质接触模型
3．1．2 柔性接触模型
3．2 数值模拟
3．2．1 柔性接触数值模拟
3．2．2 硬质接触和柔性接触对比
3．3 柔性接触模具变形规律
3．3．1 压印力和特征结构深宽比对模具变形的影响
3．4 本章小结
第4章 狭缝涂布理论分析与数值模拟
4．1 聚乙烯醇简介
4．2 理论模型
4．3 数值仿真
4．3．1 VOF模型简介
4．3．2 几何模型建立
4．3．3 边界条件及加载求解说明
4．4 仿真结果及分析
4．4．1 不同速度不同时间点所对应的流体界面
4．4．2 不同速度下的流场压力分布
4．4．3 不同流速下流线图
4．5 本章小结
第5章 柔性薄膜卷绕张力控制及PID仿真
5．1 张力控制系统分类
5．2 压印系统方案设计
5．2．1 放卷辊等效转动惯量计算
5．2．2 伺服电机的选择
5．2．3 关于连轴器的选用
5．2．4 减速器的选用
5．2．5 磁粉制动器的结构与工作原理
5．2．6 张力检测器
5．2．7 张力控制器的选用
5．3 收卷张力控制
5．4 放卷段简化非线性模型
5．5 放卷段近似线性模型
5．6 MATLAB仿真
5．7 本章小节
第6章 结论与展望
6．1 结论和创新点
6．2 未来的研究
参考文献
攻读硕士学位期间取得的科研成果
致谢
