大气压射频微等离子体放电特性的数值模拟研究

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摘要

第一章 绪论

1．1 大气压气体放电

1．2 大气压射频放电

1．3 大气压气体放电的一维流体模型及数值计算方法

1．3．1 大气压气体放电的一维流体模型

1．3．2 一维流体模型的数值求解算法

1．4 本文内容

第二章 大气压射频放电等离子体阻抗计算

2．1 大气压氦气射频放电的流体模型

2．2 相关文献中电路等效模型的建立

2．3 等离子体参数公式推导

2．3．1 电子密度公式

2．3．2 鞘层厚度以及鞘层电压公式

2．4 本章小结

第三章 大气压射频微等离子体的空间结构

3．1 大气压氦氧射频放电的流体模型

3．2 大气压氦气微等离子空间结构

3．2．1 大气压氦气微等离子体空间结构

3．2．2 频率对大气压微等离子体放电结构的影响

3．3 大气压氦氧混合气体微等离子体空间结构

3．3．1 微间隙下的氦氧射频放电空间结构

3．3．2 微间隙下的氦氧射频放电主要正负离子空间结构

3．4 本章小结

第四章 大气压射频微等离子体活性粒子的产生与优化

4．1 同功率和同功率密度数值计算方法

4．2 同功率密度下氦氧微等离子体的放电特性

4．2．1 射频微等离子体的放电特性

4．2．2 活性粒子(ROS)的尺度效应

4．3 同功率下氦氧微间隙放电特性

4．3．1 射频微等离子体的放电特性

4．3．2 空间电场分布以及电子能量分析

4．3．3 活性粒子(ROS)的尺度效应

4．4 本章小结

第五章 微波脉冲调制放电特性的流体模拟研究

5．1 微波脉冲调制的流体模型

5．1．1 流体模拟与粒子模拟的对比

5．1．2 微波脉冲调制的流体模拟

5．2 微间隙下第一个电流脉冲的分析

5．2．1 高频下的第一个电流脉冲

5．2．2 占空比对第一个电流脉冲的影响

5．2．3 调制频率对第一个电流脉冲的影响

5．2．4 低频下的第一个电流脉冲

5．3 大间隙下第一个电流脉冲的分析

5．3．1 低频下的第—个电流脉冲

5．3．2 高频下的第一个电流脉冲

5．4 本章小节

第六章 结论与展望

6．1 结论

6．2 展望

参考文献

致谢

攻读硕士学位期间的研究成果