原子力显微镜纳米级定位平台设计与测试技术研究

声明

第一章 绪论

1.1 课题研究背景

1.2 国内外研究现状

1.2.1原子力显微镜研究现状

1.2.2纳米位移平台研究现状

1.3 主要研究内容与关键技术

第二章 原子力显微镜与压电陶瓷驱动器

2.1 AFM工作原理

2.1.1 AFM的工作模式

2.1.2探针与样品间的相互作用力

2.1.3频率变化与探针样品间相互作用力的关系

2.2.1压电效应与逆压电效应

2.2.2 压电陶瓷驱动器的工作原理

2.2.3压电陶瓷驱动器的特性

第三章 纳米级定位平台的设计与仿真分析

3.1 纳米级定位平台总体设计

3.2 剪切型压电位移平台的设计

3.2.1剪切型压电位移平台的工作原理与设计

3.2.2 剪切型压电位移平台的静态与动态分析

3.3 压电陶瓷扫描器的设计

3.3.1压电陶瓷扫描器结构设计

3.3.2压电陶瓷扫描器模态分析

第四章 压电驱动电路设计与分析

4.1压电驱动器总体方案分析

4.1.1压电驱动器总方案

4.1.2 压电驱动器参数确定

4.2 交流转直流电路设计与仿真

4.2.1交流转直流总体设计

4.2.2交流转直流电路设计

4.2.3 交流转直流滤波稳压方法验证

4.3 锯齿波信号发生器设计与仿真

4.3.1锯齿波生成器设计

4.3.2 锯齿波信号发生器仿真验证

4.4 信号放大器设计与仿真

4.4.1高压信号放大电路设计

4.4.2 高压信号放大器仿真验证

第五章 测试技术研究

5.1纳米级定位平台性能测试

5.2 集成化测试技术研究

5.2.1 探针与样品的处理

5.2.2 剪切型位移平台性能分析

5.2.3 压电扫描器性能试验分析

第六章 总结与展望

6.1 工作总结

6.2进一步工作建议

参考文献

攻读硕士学位期间所取得的研究成果

致谢