C/SiC复合材料表面SiC涂层的改性研究

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第一章绪论

1.1 C/SiC复合材料

1.2 C/SiC的防氧化

1.3 SiC-C/SiC的涂层缺陷与氧化失效模式

1.4物理气相沉积和离子注入表面改性

1.4.1物理气相沉积

1.4.2离子注入表面改性

1.5本课题选题依据和研究内容

1.5.1选题依据

1.5.2研究内容

参考文献

第二章物理气相沉积对SiC涂层表面改性

2.1前言

2.2实验过程

2.2.1 3D SiC-C/SiC试样制备

2.2.2真空蒸镀Al膜

2.2.3磁控溅射Si膜

2.2.4氧化实验

2.2.5扫描电子显微镜(SEM)

2.2.6 X射线能谱分析(EDS)

2.3结果分析与讨论

2.4本章小结

参考文献

第三章离子注入对SiC涂层表面改性

3.1前言

3.2实验过程

3.2.1试样制备

3.2.2离子注入实验

3.2.3退火实验

3.2.4氧化实验

3.2.5弯曲强度测试

3.2.6化学成分、相结构和组织结构分析

3.3注入表面形貌、组织和成分分析

3.4氧化结果分析及讨论

3.4.1注入B试样结果分析与讨论

3.4.2注入Al试样结果分析与讨论

3.4.3注入Si试样结果分析与讨论

3.5本章小结

参考文献

第四章混合注入沉积对SiC涂层表面改性

4.1前言

4.2实验过程

4.2.1注入沉积实验

4.2.2氧化实验

4.2.3 XRD

4.2.4 SEM

4.3结果分析及讨论

4.3.1外涂层为Al试样结果分析与讨论

4.3.2外涂层为Si试样结果分析与讨论

4.3.3铝和硅共沉积试样结果分析与讨论

4.4本章小结

参考文献

结论

致谢

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