一种应用于半导体硅片抛光设备的恒流电源的设计

摘要

引言

第一章 绪论

1．1 课题研究的背景及意义

1．2 半导体硅片抛光设备的工作原理介绍

1．3 目前恒流源研究的现状

1．3．1 模拟控制方式恒流源

1．3．2 数字控制方式恒流源

1．4 本课题主要研究的内容

第二章 智能抛光电源系统的总体设计方案与原理分析

2．1 系统的总体设计方案及性能指标

2．1．1 系统的总体设计方案

2．1．2 性能指标

2．2 系统关键模块的设计方案与实现方法

2．2．1 控制器模块的基本设计方案

2．2．2 恒流源模块的基本设计案

2．2．3 方案2中器件的参数计算

2．2．4 输出电流脉宽可调模块的设计原理

2．3 PSPICE仿真分析介绍

2．4 本章小结

第三章 智能抛光电源系统的硬件电路设计

3．1 FPGA控制电路的硬件设计

3．1．1 FPGA芯片选择

3．1．2 FPGA供电电路的设计

3．1．3 FPGA下载电路的设计

3．1．4 FPGA时钟电路的设计

3．2 电流信号采样电路的硬件设计

3．2．1 AD1674芯片介绍

3．2．2 ADG408芯片介绍

3．2．3 电流信号采样硬件电路的设计

3．3 恒流源功率电路设计

3．4 占空比可调控制电路的设计

3．5 PSPICE仿真验证

3．6 本章小结

第四章 FPGA控制逻辑设计

4．1 FPGA顶层模块的设计

4．2 时钟发生模块的设计

4．3 A／D转换接口模块的设计

4．4 恒流控制PID算法模块设计

4．5 PWM波生成模块的设计

4．6 本章小结

第五章 智能抛光电源系统的测试结果与分析

5．1 样机的搭建和测试仪器介绍

5．1．1 样机

5．1．2 测试仪器

5．2 样机测试结果与分析

5．2．1 输出电流量程测试

5．2．2 负载稳定性测试

5．2．3 输出电流脉宽可调范围测试

5．3 抛光设备上的样机功能测试

5．4 本章小结

第六章 总结与展望

参考文献

后记

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