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利用TE腔测量薄片材料复介电常数方法研究

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原创性声明及本论文使用授权说明

第一章绪论

1.1描写介质材料介电性能的常用参数

1.2介质测量常用方法

1.3薄片材料测量技术现状

1.3.1传输/反射测量技术

1.3.2谐振腔测量技术

1.3.3其它测量技术

1.4本文主要内容简介

第二章传统TE01p腔测量技术概述

2.1概述

2.1.1圆柱谐振腔一般理论

2.1.2 TE01p圆柱谐振腔一般理论

2.2复介电常数实部测量

2.3介质损耗测量

2.4传统 TE01p腔法测量薄片材料的困难

第三章测量薄片材料的TE01p腔改进技术

3.1概述

3.2复介电常数实部测量

3.3介质损耗测量

第四章实验数据及与仿真结果

4.1实验测量系统

4.2实验数据结果

4.3仿真数据与实验数据比较

第五章不确定度讨论

5.1二层介质测量复介电常数实部的不确定度

5.1.1概述

5.1.2不确定度公式

5.1.3不确定度变化图

5.2三层介质测量复介电常数实部的不确定度

5.2.1概述

5.2.2不确定度公式

5.2.3不确定度变化图

5.3讨论

第六章结论

参考文献

作者在攻读学位期间公开发表的学术论文

致谢

说明

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摘要

本文提出一种适用于测量薄片材料复介电常数的改进TE<,01p>谐振腔法.此方法将待测样品从短路活塞处抬高,即在待测薄片样品下面垫上已知复介电常数材料,以提高测量系统的灵敏度;如有必要也可以在待测薄片样品的上面压上一块已知复介电常数材料,提高样品材料的平整度,以减少空气隙带来的误差.文章推导了TE<,01p>腔测量多层介质的理论计算公式,只要知道垫片和压块介质材料的复介电常数,通过实验测量和软件计算,就可以求得中间待测薄片的复介电常数.运用这种改进方案,对数种样品在X波段进行了计算机仿真与实验测量,取得较满意的结果.本文将这种改进方法与传统的TE<,01p>方法做了比较,证明了此方法测量薄片材料的可行性.文章最后也对该方法在测量复介电常数实部的不确定度做了初步的讨论.并对进一步提高测量范围与测量精度提出一些改进设想.

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