基于MEMS的压电超声微换能器的设计、仿真和实验

封面

声明

中文摘要

英文摘要

目录

第一章 绪论

1.1 前言

1.2 选题依据

1.3 文献回顾

1.4 研究内容

第二章 压电超声微换能器单元的优化

2.1 理论基础

2.2单元结构

2.3单元优化

2.4 本章小结

第三章 压电超声微换能器阵列的优化

3.1 基本概念

3.2 阵列型式

3.3 阵列优化

3.4 优化结果

3.5 本章小结

第四章 压电超声微换能器制作

4.1 PZT/Si接合法文献回顾

4.2 压电超声微换能器加工

4.3 压电超声微换能器样品

4.4 本章小结

第五章 压电超声微换能器性能测试

5.1 微观结构

5.2 铁电性能

5.3 频响测试

5.4 声压测试

5.5 指向性能

5.6 本章小结

第六章 结论

6.1 工作总结

6.2 工作展望

致谢

参考文献

攻硕期间取得的研究成果