氮化铝薄膜MEMS压电超声换能器设计及应用

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致谢

摘要

1 绪论

1．1 MEMS技术简介

1．2 MEMS超声换能器及其应用

1．3 PMUT研究现状与发展前景

1．4研究内容及论文结构安排

2 PMUT设计与加工

2．1压电材料选择

2．2 PMUT设计

2．2．1 结构尺寸设计

2．2．2 电极尺寸设计

2．3 PMUT加工

2．4 PMUT器件特性测量

2．4．1 机械特性

2．4．2 电学特性

2．5本章小结

3 PMUT用于超声Doppler测量

3．1基于包络线的超声Doppler方法

3．2包络线超声Doppler方法验证

3．3本章小结

4 PMUT用于超声测距测量

4．1 PMUT测距

4．1．1 PMUT单元测距

4．1．2 PMUT阵列测距

4．2基于相位延迟的衰减振荡抑制

4．2．1相位延迟法

4．2．2相位延迟理论的验证

4．2．3抑制效果实验

4．3本章小结

5 PMUT逻辑执行器件

5．1 MEMS逻辑运算器件简介

5．2基于谐振模态调制的逻辑运算

5．3 PMUT逻辑执行器实现

5．4本章小结

6 总结与展望

6．1总结

6．2未来工作展望

参考文献

攻读硕士学位期间获得的科研成果