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具有孔阵列Helmholtz共振腔的MEMS压电超声换能器

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一种具有孔阵列Helmholtz共振腔的MEMS压电超声换能器，包括MEMS压电超声换能器以及孔阵列Helmholtz共振腔，所述孔阵列Helmholtz共振腔由所述MEMS压电超声换能器以及内部为腔体结构的硅衬底组成，所述MEMS压电超声换能器与硅衬底之间键合结合；其中，所述MEMS压电超声换能器为压电叠层结构，其压电叠层结构上设置有若干开孔形成孔阵列，将孔阵列Helmholtz共振腔与外界大气连通，所述孔阵列中的空气形成孔阵列Helmholtz共振腔的空气柱。本发明能够提升MEMS压电超声换能器能量转换效率，并提高MEMS压电超声换能器和Helmholtz共振腔匹配时的谐振频率。

著录项

公开/公告号CN110560348B

专利类型发明专利
公开/公告日2021-01-15

原文格式PDF
申请/专利权人武汉大学;
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申请/专利号CN201910749141.6
发明设计人孙成亮;吴志鹏;王磊;朱伟;胡博豪;林炳辉;周禹;
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申请日2019-08-14
分类号B06B1/06(20060101);
代理机构42222 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人姜学德
地址 430072 湖北省武汉市武昌区珞珈山武汉大学
入库时间 2022-08-23 11:29:16

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