一种微梁直拉直压的微机械压阻式加速度传感器

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第一章引言

1.1微电子机械系统

1.1.1 MEMS器件和应用

1.1.2 MEMS制造技术

1.1.3总结和展望

1.2微机械加速度传感器

1.2.1微机械加速度传感器原理

1.2.2压阻式微机械加速度传感器

1.2.3电容式微机械加速度传感器

1.3本论文研究内容

参考文献

第二章传感器设计原理

2.1一种微梁直拉直压的压阻式加速度传感器

2.2结构的力学模型分析

2.2.1传感器灵敏度

2.2.2过载保护结构设计

2.2.3传感器自由振动频率

2.2.4传感器结构的阻尼考虑

2.2.5一个设计实例

2.3传感器结构的有限元模拟

2.3.1微梁的直拉直压条件的有限元模拟修正

2.3.2传感器静态力学特性的有限元模拟

2.3.3传感器结构的动态特性的有限元模拟

2.3.4有限元模拟结果和力学模型分析结果的比较

2.4传感器的横向效应分析

2.4.1 X方向横向效应

2.4.2 Z方向横向效应

2.4.3传感器的横向效应总结

2.5传感器的热分析

2.5.1稳态温度分布分析

2.5.2 瞬态热分析

2.6本章总结

参考文献

第三章传感器结构优化和设计规则

3.1传感器结构优化

3.2不同量程传感器的设计规则

3.3传感器设计规则的程序化

参考文献

第四章传感器制作

4.1传感器芯片制作工艺流程

4.2背面DRIE刻蚀工艺

4.3下盖板制作工艺

4.4传感器封装

参考文献

第五章传感器测试

5.1传感器静态特性测试

5.2传感器动态特性测试

5.2.1传感器低频线性输出特性测试

5.2.2传感器自由振动频率测试

5.3传感器噪声测试

5.4传感器测试结果总结

参考文献

第六章结论

参考文献

致谢

个人简历

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