多靶磁控共溅合成nc-B4C/a-Ti和nc-B4C/a-Si3N4纳米复合薄膜的研究

摘要

ABSTRACT

目录

第一章 引言

1.1 纳米复合薄膜的研究背景和应用前景

1.2 超硬纳米复合薄膜的概念和致硬机理

1.3 纳米复合薄膜的种类及其热稳定性

1.3.1 nc-MeN/Me~*系统

1.3.2 nc-MeN/a-Si_3N_4系统

1.3.3 nc-MeN(C)/a-C系统

1.4 本论文研究的背景与意义

1.5 本论文研究的内容

第二章 实验设备与测试方法

2.1 多靶磁控共溅系统

2.2 薄膜的结构测试

2.3 薄膜的化学成分及元素结合能测试

2.4 薄膜的力学性能测试方法

2.4.1 薄膜的厚度、残余应力测试

2.4.2 薄膜的硬度测试和膜基结合力测试

2.4.3 薄膜的摩擦性能测试

第三章 nc-B_4C/a-Ti纳米复合膜的结构与力学性能

3.1 nc-B_4C/a-Ti纳米复合膜的制备

3.2 实验参数对nc-B_4C/a-Ti纳米复合膜结构及性能的影响

3.2.1 nc-B_4C/a-Ti纳米复合膜的结构表征

3.2.2 nc-B_4C/a-Ti纳米复合膜的XPS测试

3.2.3 实验参数对nc-B_4C/a-Ti纳米复合膜力学性能的影响及其机理研究

3.3 本章小结

第四章 nc-B_4C/a-Si_3N_4纳米复合膜的结构与力学性能

4.1 nc-B_4C/a-Si_3N_4纳米复合膜的制备

4.2 实验参数对nc-B_4C/a-Si_3N_4纳米复合膜结构及性能的影响

4.2.1 nc-B_4C/a-Si_3N_4纳米复合膜的结构表征

4.2.2 nc-B_4C/a-Si_3N_4纳米复合膜中各元素的XPS精细谱线

4.2.3 nc-B_4C/a-Si_3N_4纳米复合膜力学性能表征及其致硬机理研究

4.3 本章小结

第五章 纳米复合薄膜热稳定性的初探

5.1 退火后薄膜的硬度变化

5.2 退火后nc-B_4C/a-Si_3N_4纳米复合膜的XRD图谱

5.3 退火后nc-B_4C/a-Si_3N_4纳米复合膜中各元素的XPS精细谱线

5.4 本章小结

第六章 总结

参考文献

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硕士在读期间获奖情况

硕士在读期间参加的会议

致谢