基于微系统技术的颗粒物分离以及浓度检测装置

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致谢

摘要

1 绪论

1．1 大气颗粒物概述

1．2 微流控技术简介

1．3 MEMS传感器简介

1．3．1 QCM传感器

1．3．2 SAW传感器

1．4 国内外研究现状

1．5 本论文工作

2 虚拟分离器的设计、仿真与加工

2．1 虚拟分离器的工作原理

2．2 虚拟分离器Ⅵ1的设计与加工

2．2．1 Ⅵ1的理论计算

2．2．2 Ⅵ1的2D结构仿真

2．2．3 Ⅵ1的3D结构仿真

2．2．4 Ⅵ1的收集效率曲线

2．2．5 Ⅵ1的整体结构设计

2．2．6 Ⅵ1的整体结构加工

2．3 虚拟分离器Ⅵ2的设计与加工

2．3．2 Ⅵ2的收集效率曲线

2．3．3 Ⅵ2的整体结构加工

2．4 本章小结

3．1 QCM传感器的结构尺寸

3．2 QCM传感器的信号测试

3．3 QCM传感器的表层涂布

3．4 PM2．5的分离实验

3．5 本章小结

4 基于QCM传感器的PM浓度检测

4．1 PM2．5浓度检测平台的搭建

4．2 PM2．5浓度检测实验

4．2．2 PM2．5浓度计算

4．3 QCM传感器的灵敏度

4．4 本章小结

5 SAW传感器的设计、加工与测试

5．1 SAW传感器的结构设计

5．2 SAW传感器的加工流程

5．3 SAW传感器的信号测试

5．4 本章小结

6 基于SAW传感器的PM浓度检测

6．2 PM1浓度检测实验

6．3 SAW传感器的灵敏度

6．4 本章小结

7 总结与展望

7．1 论文总结

7．2 工作展望

参考文献

作者在学习期间取得的科研成果