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致谢
摘要
1 绪论
1.1 研究背景
1.2 面向微器件的材料参数测量与成像检测技术
1.2.1 光学和扫描探针检测技术
1.2.2 红外热成像检测技术
1.2.3 声发射检测技术
1.2.4 激光散射检测技术
1.2.5 X射线检测技术
1.2.6 超声检测技术
1.2.7 超声与其他物理手段相结合的检测技术
1.3 扫描超声显微成像检测技术研究现状
1.3.1 扫描超声显微成像工作原理
1.3.2 材料多参数测量与超声显微成像机制
1.3.3 超声图像中快速缺陷检测技术
1.3.4 扫描超声显微成像检测系统
1.4 论文的研究意义及研究内容
1.4.1 论文研究意义与目标
1.4.2 论文来源与项目支持
1.4.3 论文的研究内容
1.5 本章小结
2 材料局域多参数定量测量技术
2.1 引言
2.2 基于V(z,t)的局域多参数测量
2.2.1 二维反射系数谱Rt(θ,ω)的理论模型
2.2.2 从V(z,t)到二维反射系数谱Re(θ,ω)的测量
2.2.3 二维反射系数谱拟合求解局域多参数算法
2.2.4 实验研究结果与分析
2.3 基于自动聚焦的局域多参数测量
2.3.1 局域声速和厚度同时测量
2.3.2 局域声阻抗测量
2.3.3 实验研究结果与分析
2.4 本章小结
3 多层材料多参数定量测量技术
3.1 引言
3.2 时域超声信号处理与多层多参数测量
3.2.1 时域超声信号处理
3.2.2 多层材料多参数测量算法
3.3 实验研究
3.3.1 实验准备
3.3.2 实验结果
3.3.3 分析与讨论
3.4 本章小结
4 大规模微器件超声图像中缺陷快速检测技术
4.1 引言
4.2 大规模徼器件超声图像中的显著性检测
4.3 基于显著图的缺陷检测方法
4.4 实验研究
4.4.1 实验准备
4.4.2 实验结果
4.4.3 分析与讨论
4.5 本章小结
5 高效率扫描超声显徼成像检测系统
5.1 引言
5.2 扫描超声显微检测系统的建立
5.2.1 基本工作原理
5.2.2 系统硬件和软件
5.3 双轴联动快速扫描轨迹的理论研究
5.3.1 快速扫描方法的提出与效率分析
5.3.2 最优快速扫描方法的一般形式
5.3.3 双轴联劝快速扫描方法的实验验证
5.3.4 快速扫描方法的优势
5.4 扫描超声显微检测系统多种成像模式及实验结果
5.5 本章小结
6 总结与展望
6.1 论文总结
6.2 论文创新点
6.3 研究展望
参考文献
作者攻读博士学位期间的成果