利用飞秒激光减小硅片表面相对反射率特性的研究

摘要

1 绪论

1．1 研究背景

1．2 飞秒激光简介

1．3 飞秒激光微加工的特点及应用

1．3．1 脉冲峰值功率极高

1．3．2 热效应较小

1．3．3 可加工的材料较多

1．4 飞秒激光诱导硅表面微结构的研究进展

1．5 本论文的研究目的和创新点

1．6 本论文的结构安排

2 硅表面微结构

2．1 硅的性质及表面微结构的应用

2．2 表面微结构对硅表面光学特性的影响机理

2．2．1 表面周期结构对硅片表面光学特性的影响机理

2．2．2 表面纳米结构对硅片表面光学特性的影响机理

2．3 本章小结

3 实验装置

3．1．2 微加工系统

3．2 硅表面形貌特征的表征

3．3 反射光谱的测试与分析方法

3．3．1 反射光谱测试装置

3．3．2 测试结果的分析方法

3．4 本章小结

4 微结构形状对硅片表面相对反射率的影响

4．1 实验材料

4．2 实验过程

4．2．1 样品的预处理

4．2．2 刻蚀

4．2．3 测试与表征

4．3 飞秒激光在硅片表面诱导不同形状微结构的表征与分析

4．3．1 相对反射率与微结构周期的关系

4．3．2 相对反射率与微结构形状的关系

4．4 本章小结

5 飞秒激光诱导硅表面圆锥状微结构研究

5．1 实验过程与刻蚀方法

5．2 飞秒激光诱导硅表面圆锥状微结构

5．3 圆锥状微结构的大面积制备

5．4 圆锥状微结构表面的光学特性

5．5 本章小结

6 总结与展望

6．1 总结

6．2 展望

参考文献

攻读学位期间取得的研究成果

致谢

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