第一章 绪论
1.1 腔光力学的研究背景
1.2 腔光力学的研究进展
1.3 本论文的主要工作
第二章 薄膜腔光力系统
2.1 高精细度法布里-珀罗（F-P）腔
2.1.1 F-P腔的搭建
2.1.2 腔精细度及其测量
2.1.3 腰斑
2.2 氮化硅薄膜机械振子介绍
2.2.1 氮化硅薄膜的生长
2.2.2 氮化硅薄膜的基本性质
2.3 薄膜腔光力系统的搭建
2.3.1 薄膜的粘接固定
2.3.2 将氮化硅薄膜插入腔中
2.4 光力耦合相互作用
2.4.1 光力耦合形式
2.4.2 光力相互作用基本理论
2.5 本章小结
第三章 基于级联低频谐振子结构设计的高Q氮化硅薄膜声子屏障
3.1 品质因子Q与机械振子能量耗散模型
3.1.1 机械品质因子Q
3.1.2 机械振动能量耗散模型
3.1.3 提升薄膜品质因子的方案
3.2 级联低频谐振子声子屏障模型的设计与分析
3.2.1 硅基片上级联低频谐振子结构的设计
3.2.3 级联低频谐振子结构理论的仿真模型
3.3 级联低频谐振子结构的实验测量结果
3.4 本章小结
第四章 薄膜谐振子机械模式的反馈冷却实验研究
4.1 边带冷却方案
4.2 反馈冷却方案理论推导
4.3室温下的反馈冷却实验
4.3.1 单光子光力耦合强度g o的测量
4.3.2 锁腔系统的改进
4.3.3 反馈回路中延时的影响
4.4 室温下反馈冷却实验结果
4.5 本章小结
第五章 总结与展望
参考文献
攻读学位期间取得的研究成果
致谢
个人简况及联系方式
承诺书
声明
