1 绪 论
1.1 本论文的研究背景
1.2 微流体阀的研究现状
1.2.1 被动式微流体阀
1.2.2 主动式微流体阀
1.3 微流体泵的研究现状
1.3.1 微流体泵的驱动方式
1.3.2 微流体泵的加工工艺
1.3.3 微流体泵的结构设计
1.4.1 研究目的
1.4.2 研究内容
2 集成于PCB上的基于PCB工艺的压电致动微流体泵的结构
2.1 引言
2.2.1 结构设计
2.2.2 工作原理
2.3 有限元分析
2.3.1 压电单晶执行器有限元分析
2.3.2 泵作用单元有限元分析
2.3.3 微流体阀有限元分析
2.4 特性模拟
2.4.1 挠度特性模拟
2.4.2 输出压强特性模拟
2.4.3 流量特性模拟
2.5 本章小结
3 集成于PCB上的压电致动微流体泵的PCB工艺设计与加工
3.1 引言
3.2 PCB工艺设计
3.2.1 圆环面边界
3.2.2 腔室壁
3.2.3 PCB基板
3.3 PCB工艺加工
3.3.1 圆环面边界
3.3.2 腔室壁
3.3.3 PCB基板
3.4 电装工艺
3.5 本章小结
4 集成于PCB上的基于PCB工艺的压电致动微流体泵的实验
4.1 引言
4.2.1 挠度测试实验系统与方案
4.2.2 压电单晶执行器中心挠度与驱动电压峰峰值的关系实验测试
4.2.3 压电单晶执行器中心挠度与驱动电压频率的关系实验测试
4.3.1 流量测试实验系统与方案
4.3.2 瞬时流量实验测试
4.3.3 不同结构的微泵的流量特性
4.3.4 流量与驱动电压的关系实验测试
4.3.5 流量极限实验测试
4.3.6 背压实验测试
4.4 本章小结
5 总结与展望
5.1 全文工作总结
5.2 研究工作的贡献与创新点
5.3 后续工作展望
参考文献
附录
A. 作者在攻读硕士学位期间发表的论文目录
B. 作者在攻读硕士学位期间参与的科研项目
C. 作者在攻读硕士学位期间其他相关工作
D. 学位论文数据集
致谢
重庆大学;