基于正交轮廓提取的相位体三维形态快速重建

声明

第一章 绪论

1.1 研究背景与意义

1.2 研究现状

1.2.1 定量相位成像技术研究现状

1.2.2 三维形态重建方法研究现状

1.3 本文主要内容及创新点

第二章 相位体表面形态特征的梯度提取法及其分析

2.1 基于梯度算子的形态特征提取

2.1.1 梯度提取算法的基本原理及流程

2.1.2 均匀介质样品表面形态提取实验

2.2 梯度算子形态特征提取算法不足分析

2.3 本章小结

第三章 基于正交相位分布的物理厚度信息获取

3.1 基于正交相位分布的样品轮廓提取算法

3.1.1 两组正交入射光投影面上的样品边界获取

3.1.2 投影面上结构边界的三维坐标获取

3.2 不同结构类型的相位体空间轮廓提取示例

3.2.1 同心异质相位体轮廓提取

3.2.2 偏心异质相位体轮廓提取

3.3 聚苯乙烯微球轮廓提取的实验研究

3.4 本章小结

第四章 基于轮廓提取的样品亚结构三维形貌反演

4.1 相位体各介质厚度三维定量分布获取流程

4.2 不同结构特征的样品形态反演示例

4.2.1同心异质样品的三维结构反演

4.2.2偏心异质样品的三维结构反演

4.3 聚苯乙烯微球的形态反演实例

4.4 本章小结

第五章 总结与展望

参考文献

致谢

攻读硕士学位期间发表的文章

在读期间其他成果