基于Agent的半导体制造系统的仿真优化

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致谢

1 绪论

1.1.1 研究背景

1.1.2 研究意义

1.2 国内外研究现状

1.2.1 半导体生产系统的模型方法

1.2.2 半导体系统的投料策略

1.2.3 半导体系统的调度策略

1.3.1 研究内容

1.3.2 研究方法

1.3.3 技术路线图

2 半导体生产系统的结构框架与表示方法

2.1 半导体制造的流程

2.2 半导体生产系统的总体框架

2.3 半导体系统的调度状态及选择

2.4 半导体系统的投料策略及选择

2.5 本章小结

3 仿真模型构建

3.1 一个半导体生产线案例

3.2.1 软件的功能介绍

3.2.2 使用的组件和模块的表述与定义方法

3.3 Set7 数据集的仿真模型构建

3.4 本章小结

4 半导体生产系统的均衡仿真分析

4.1 不同调度策略下的仿真分析

4.1.1 先进先出策略

4.1.2 剩余时间最短优先策略

4.1.3 下步访问时间最短优先策略

4.1.4 最长队列缓冲区优先策略

4.1.5 四种策略的总结与比较

4.2.1 不同时间间隔的静态策略

4.2.2 固定在制品策略

4.2.3 避免饥饿策略

4.3 最高利润水平的组合优化

4.4 本章小结

5 结论与展望

5.1 结论

5.2 展望

参考文献

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