射频大气压放电中OH自由基发射光谱测量气体温度的研究

声明

1 绪论

1.1 射频大气压放电的研究背景和现状

1.2 气体温度测量方法

1.2.1 热电偶

1.2.2 中性粒子密度测量气体温度

1.2.3 光谱轮廓

1.2.4 分子的转动分布

1.2.5 方法比较和讨论

1.3 大气压等离子体发射光谱诊断

1.3.1 热力学平衡模型

1.3.2 光谱线形机制

1.3.3 气体温度测量

1.4 论文研究内容与安排

2 实验系统介绍

2.1 实验装置

2.2 放电系统

2.2.1 电路系统

2.2.2 气路系统

2.3 测量系统

2.3.1 ICCD和光谱仪

2.3.2 电压探头与电流探头

2.3.3 光路系统

3 实验结果

3.1 实验系统不稳定性对实验数据的影响

3.1.1 ICCD的不稳定性影响研究

3.1.2 放电系统对气体温度的影响

3.1.3 气体温度测量稳定性验证

3.2 OH转动谱线光强随放电功率的变化

3.3 Ar谱线光强与放电功率的关系

3.4 射频大气压放电模式转变中气体温度的测量

3.5 OH峰移对气体温度和模式转化的影响

3.5.1 OH发射光谱峰移随放电功率的变化

3.5.2 碰撞频移系数选择方法

3.5.3 计入碰撞频移，气体温度随放电功率变化和模式转化的研究

3.5.4 计入碰撞频移计算气体温度的可信性验证

3.6 进气方式对等离子体放电特性的影响

3.6.1 进气方式对气体温度的影响

3.6.2 进气方式对伏安特性曲线的影响

4 结论与展望

4.1 结论

4.2 展望

参考文献

攻读硕士学位期间发表学术论文情况

致谢