铁氧体磁性薄膜及在片上电感中的应用研究

第一章 绪 论

1.1 研究的背景与意义

1.2 国内外研究现状

1.3 论文的结构安排

第二章 制备技术与测试方法

2.1 铁氧体材料制备技术

2.2 NiZn铁氧体薄膜的测试表征

2.3 本章小结

第三章 磁控溅射制备NiZn铁氧体薄膜研究

3.1 引言

3.2 靶材主配方

3.3 靶材烧结工艺

3.4 磁场诱导

3.5 本章小结

第四章 旋转喷涂低温制备NiZn铁氧体薄膜研究

4.1 引言

4.2 主配方

4.3 氧化剂浓度

4.4 衬底

4.5 磁场诱导

4.6 本章小结

第五章 薄膜电感仿真、制作与测试

5.1 引言

5.2 薄膜电感仿真

5.3 薄膜电感制作

5.4 性能测试

5.5 本章小结

第六章 全文总结与展望

6.1 全文总结

6.2 主要创新点

6.3 后续工作展望

致谢

参考文献

攻读博士学位期间取得的成果