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磁性薄膜叠层的沉积方法、磁性薄膜叠层及微电感器件

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摘要

本发明提供一种磁性薄膜叠层的沉积方法、磁性薄膜叠层及微电感器件，该沉积方法包括以下步骤：S1，在待加工工件上沉积粘附层；S2，沉积磁性/隔离单元；磁性/隔离单元包括至少一对交替设置的磁性膜层和隔离层。本发明提供的磁性薄膜叠层的沉积方法，可以增大磁性薄膜叠层的总厚度，从而可拓宽由其制备所得的电感器件的应用频率范围。

著录项

公开/公告号CN108022751B

专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-11

原文格式PDF
申请/专利权人北京北方华创微电子装备有限公司;
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申请/专利号CN201610929057.9
发明设计人杨玉杰;丁培军;张同文;夏威;王厚工;
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申请日2016-10-31
分类号H01F41/18(20060101);H01F10/14(20060101);H01F17/00(20060101);C23C14/34(20060101);C23C14/35(20060101);
代理机构11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司;
代理人彭瑞欣;张天舒
地址 100176 北京经济技术开发区文昌大道8号
入库时间 2022-08-23 13:00:35

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