连续无掩膜光刻与一种新型的热回流技术用于微透镜阵列成型

著录项

• 作者

  邱金峰;

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• 作者单位

  中国科学技术大学;

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• 授予单位 中国科学技术大学;
• 学科 仪器科学与技术
• 授予学位 博士
• 导师姓名 赵旸,李木军;
• 年度 2019
• 页码
• 总页数
• 原文格式 PDF
• 正文语种 中文
• 中图分类 光电子技术、激光技术;
• 关键词

  无掩膜光刻; 回流技术;