基于石墨烯的表皮压力传感器的设计、制备与建模

声明

摘要

第一章绪论

1．1．1表皮电子器件的概念

1．1．2表皮电子器件的发展思路

1．1．3表皮电子器件的优势

1．2表皮压力传感器

1．2．1压力传感器的分类

1．2．2表皮压力传感器的研究现状

1．2．3表皮压力传感器的发展趋势

1．2．4表皮压力传感器其他方面的工作

1．2．5表皮压力传感器研究中存在的问题

1．3本章小结

1．4本论文研究目的与内容

参考文献

第二章激光直写还原石墨烯制备表皮压力传感器

2．1研究背景

2．2实验仪器

2．2．1激光直写设备

2．2．2压力传感器测试系统

2．3材料与方法

2．3．1氧化石墨烯合成

2．3．2 GO／PDMS薄膜制备

2．3．3器件制备

2．4结果与讨论

2．4．1激光直写还原石墨烯的表征

2．4．2器件形貌表征

2．4．3压力传感机理

2．4．4器件的性能表征

2．4．5器件的应用展示

2．5本章小结

参考文献

第三章激光辐照硅胶制备石墨烯及其压力传感器

3．1研究背景

3．2实验仪器

3．2．1激光光刻设备

3．2．2压力传感器测试系统

3．3材料与方法

3．3．1 PDMS薄膜制备

3．3．2器件制备

3．4结果与讨论

3．4．1 激光辐照直写PDMS制备石墨烯的表征

3．4．2器件形貌表征

3．4．3压力传感器件工作机理

3．4．4器件的压力传感性能表征

3．4．5器件应用展示

3．5本章小结

参考文献

第四章接触电导型压力传感器的理论模型

4．1 研究背景

4．2理论模型

4．2．1物理图像

4．2．2模型假设

4．2．3模型建立

4．2．4衬底厚度修正

4．3模型应用

4．3．1从AFM得到的高度累积分布函数仿真电导-压力曲线

4．3．2从微观几何结构仿真电导-压力曲线

4．3．3最理想的微观结构

4．4本章小结

参考文献

第五章总结与展望

5．1 总结

5．2 展望

5．2．1实际应用的技术方案

5．2．2后续可开展的研究工作

附录

致谢

在读期间发表的学术论文与取得的其他研究成果