摘要
第1章绪论
1．1研究目的和意义
1．1．1三轴加速度传感器的研究目的
1．1．2三轴加速度传感器的研究意义
1．2三轴加速度传感器国内外研究现状
1．2．1三轴加速度传感器的国内研究现状
1．2．2三轴加速度传感器的国外研究现状
1．3主要研究内容
第2章三轴加速度传感器的基本结构及工作原理
2．1三轴加速度传感器芯片基本结构
2．2三轴加速传感器芯片的工作原理
2．2．1芯片的敏感原理
2．2．2三轴加速度传感器芯片x轴方向的工作原理
2．2．3三轴加速度传感器芯片y轴方向的工作原理
2．2．4三轴加速度传感器芯片z轴方向的工作原理
2．3三轴加速传感器的灵敏度分析
2．4本章小结
第3章三轴加速度传感器芯片特性仿真
3．1三轴加速度传感器芯片的力学仿真
3．1．1三轴加速度传感器的仿真模型构建
3．1．2三轴加速度传感器的应力仿真分析
3．1．3三轴加速度传感器的模态仿真分析
3．1．4三轴加速度传感器的频响特性仿真分析
3．1．5三轴加速度传感器的灵敏度一致性优化
3．2三轴加速度传感器芯片的电学特性仿真
3．2．1三轴加速度传感器芯片的敏感元件选取
3．2．2三轴加速度传感器芯片的仿真模型构建
3．2．3三轴加速度传感器芯片的灵敏度仿真
3．3本章小结
第4章三轴加速度传感器的芯片制作及封装
4．1三轴加速度传感器芯片的版图
4．1．1敏感单元版图
4．1．2引线孔与互连线版图
4．1．3弹性单元刻蚀版图
4．2三轴加速度传感器芯片的工艺流程
4．3三轴加速度传感器芯片的封装
4．4本章小结
第5章实验结果与讨论
5．1三轴加速度传感器的测试系统搭建
5．2三轴加速度传感器的特性测试
5．2．1频响特性
5．2．2灵敏度特性
5．2．3线性度
5．2．4迟滞
5．2．5重复性
5．2．6交叉干扰特性
5．3本章小结
结论
参考文献
致谢
攻读学位期间取得学术成果
声明
黑龙江大学;
