半导体设备控制系统的优化设计与实现

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摘要

第1章 绪论

1．1 课题背景

1．1．1 国内半导体产业的发展趋势

1．1．2 半导体设备国产化的需求现状

1．1．3 研究意义

1．2 伺服电机系统概述

1．2．1 伺服系统的构成要素

1．2．2 伺服的性能评价

1．2．3 伺服电机的国内外发展与现状

1．3 PLC梯形图编程概述

1．3．1 PLC梯形图的基本概念

1．3．2 安川PLC梯形图的简介

1．4 论文主要内容和结构安排

第2章 控制程序设计的改进

2．2 分选机控制系统简介

2．3 程序框架的搭建

2．3．1 结构层次化设计

2．3．2 控制模块化设计

2．4 运动模型的设计

2．4．1 基于“动作标记”的顺序模型

2．4．2 基于“移位判断”的选择模型

2．4．3 基于“缓冲处理”的并行模型

2．5 本章小结

第三章 系统运动性能的优化

3．1 引言

3．2 伺服参数的调整

3．2．1 PID控制原理

3．2．2 手动调整伺服参数

3．3 精度控制

3．3．1 电子齿轮比设定

3．3．2 制振控制

3．3．3 齿隙误差补偿

3．4 速度控制

3．4．1 电机运行速度的优化处理

3．4．2 时序控制对运行速度的影响

3．4 本章小结

第四章 系统控制功能的升级

4．1 引言

4．2 运动轨迹的实时可控

4．3 运行安全保护机制

4．3．1 安全保护

4．3．2 故障检测与异常处理

4．4 本章小结

第五章 多通道通信接口的设计

5．1 引言

5．2 安川MP系列控制器为从站时的两种通信方式

5．2．1 使用自动接收功能通信

5．2．2 使用自编MSG-RCV函数的梯形图程序通信

5．3 多通道通信实现的基础与方法

5．3．1 多传送缓冲器通道机制

5．3．2 以MSG-RCV函数为控制核心的设计方法

5．4 接口程序的设计与实现

5．4．1 PLC通信模块的配置

5．4．2 上位机通信接口设计

5．4．3 下位机通信接口设计

5．5 通信速度的分析

5．6 本章小结

第六章 总结与展望

参考文献

致谢

在读期间发表的学术论文与取得的其他研究成果