声明
摘要
图目录
表目录
1引言
1.1研究背景及意义
1.2研究现状
1.2.1工业物联网发展现状
1.2.2大数据技术发展现状
1.2.3设备故障预测和诊断方法研究现状
1.3研究内容与论文组织结构
1.4本章小结
2工业物联网大数据平台的构建
2.1工业物联网与大数据平台相关技术
2.1.1工业物联网架构
2.1.2工业物联网传输协议
2.1.3MQTT消息服务器
2.1.4大数据平台架构
2.1.5数据可视化
2.2工业物联网大数据平台的设计与实现
2.2.1空气质量监测仿真系统设计
2.3本章小结
3智能化设备故障预测方法研究
3.1基于LSTM网络的设备运行参数预测算法
3.1.1LSTM预测算法思想及原理
3.1.2LSTM相关参数选择
3.1.3LSTM状态预测模型结构
3.1.4LSTM模型训练
3.1.5LSTM模型预测性能评估
3.2基于ResNet网络模型的故障诊断算法
3.2.1ResNet网络结构原理
3.2.2基于ResNet的故障诊断网络模型结构
3.2.3网络模型评估
3.3设备故障预测算法实验验证结果
3.4本章小结
4晶圆划片机运行状态监测与故障预测系统实现
4.1系统概述
4.2系统设计与功能实现
4.3本章小结
5总结和展望
5.1总结
5.2展望
参考文献
个人简历、在校期间发表的学术论文与研究成果
致谢
郑州大学;