13.9nm光栅分束器及相关问题研究

文摘

英文文摘

第一章绪论

1.1概述

1.2激光干涉法等离子体诊断简介

1.2.1干涉法等离子体诊断光路

1.2.2国外等离子体诊断研究现状

1.2.3国内等离子体诊断研究现状

1.2.4 X射线分束器

1.3选题意义和博士论文的构成

参考文献

第二章13.9nm全息光栅分束器设计

2.1引言

2.2 13.9nm全息光栅分数其中调整光栅设计

2.2.1调整光栅的制作方案

2.2.2光栅分束器制作误差对干涉系统预调整精度的影响

2.3 X射线分合束光栅设计

2.3.1工作光栅的线密度

2.3.2分合束光栅的槽型结构

2.3.3工作光栅的制作误差对干涉系统分束效率的影响

2.4本章小结

参考文献

第三章13.9nm全息光栅分束器制作研究

3.1引言

3.2 13.9nm全息光栅分束器制作工艺

3.2.1双频光栅的制作光路

3.2.2双频光栅的制作原理

3.3双频调整光栅制作

3.3.1双频调整光栅的线密度关系控制

3.3.2双频调整光栅与Laminar工作光栅的线条平行度控制

3.4 Laminar工作光栅的制作

3.4.1 Laminar工作光栅线密度控制

3.4.2曝光过程中的驻波效应控制

3.4.3反应离子灰化

3.4.4离子束刻蚀及去胶

3.5 13.9nm闪耀分合束光栅初探

3.5.1闪耀光栅的制作工艺

3.5.2实验结果及讨论

3.6本章小结

参考文献

第四章13.9nm全息光栅分束器性能评价

4.1引言

4.2双频调整光栅参数检测

4.2.1双频光栅的线密度测量

4.2.2双频调整光栅与Laminar工作光栅线条的平行度测量

4.2.3双频调整光栅线条平行度测量结果

4.3 Laminar工作光栅槽形参数检测

4.3.1 Laminar工作光栅线密度测量

4.3.2 Laminar工作光栅槽型参数测量

4.4 Laminar工作光栅衍射效率检测

4.5检测结果及干涉系统分析

4.5.1分合束光栅检测结果

4.5.2干涉系统预调整精度及分束效率

4.6本章小结

参考文献

第五章论文的工作总结与展望

5.1论文的创新性工作

5.2下一步工作的展望

致谢

攻读博士期间发表的论文