声明
第一章 绪论
1.1 概述
1.2 磁控溅射镀膜的研究现状
1.3 本论文的研究内容和意义
第二章 薄膜生长理论及模拟方法
2.1 薄膜生长理论
2.2 常用的模拟方法
第三章 样品制备和测试
3.1 实验装置及薄膜制备方法
3.2 样品制备
3.3 薄膜性能检测方法及仪器
第四章 工艺条件对碳膜影响的研究
4.1 引言
4.2 实验方案
4.3 实验结果及讨论
4.4 本章小结
第五章 模型的建立与模拟的实现
5.1 引言
5.2 模拟方法的选择
5.3 模型的建立
5.4 模拟仿真的实现
5.5 模拟结果与讨论
5.6 本章小结
第六章 总结与展望
6.1 总结
6.2 展望
参考文献
致谢
天津工业大学;
