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第1章绪论
1.1微机电系统与光学微机电系统
1.1.1微机电系统(MEMS)的研究背景
1.1.2光学微机电系统(MOEMS)的研究背景
1.1.3微机电系统的研究现状
1.2常用的MEMS微驱动技术
1.2.1静电力驱动
1.2.2压电驱动
1.2.3电磁力驱动
1.2.4形状记忆合金驱动
1.2.5热气驱动
1.2.6双金属驱动
1.2.7磁致伸缩驱动
1.3光驱动技术的发展和在微机械领域的研究现状
1.3.1光驱动技术的产生与发展
1.3.2光驱动技术在微机械领域的研究现状
1.3.3光驱动的理论发展和研究现状
1.3.4光驱动技术在我国的研究现状
1.4本论文研究的意义和主要研究内容
1.4.1本论文的研究意义
1.4.2本论文的主要研究内容
1.5本章小结
第2章光驱动的原理和光驱复杂微器件的计算方法
2.1光镊的基本原理
2.1.1光场中梯度力的产生
2.1.2负光压的产生
2.1.3聚焦强度对光镊工作效果的影响
2.2光驱动的几何光学模型
2.3适用于光驱MEMS微器件的混合几何波动光学模型
2.4运用混合几何波动光学模型对光驱微器件的分析
2.5运用混合几何波动光学模型对光驱微器件进行分析的步骤
2.6本章小结
第3章对斜爪微转子和螺旋微转子光驱动的计算
3.1斜爪转子的计算方法
3.1.1斜爪转子光力矩的分析与计算
3.1.2斜爪转子的转动速度的计算
3.2斜爪转子的计算结果与分析
3.3螺旋转子的计算方法
3.3.1螺旋转子光力矩的分析与计算
3.3.2螺旋转子的转动速度的计算
3.4螺旋转子的计算结果与分析
3.5对光驱动微转子的优化设计
3.6本章小结
第4章光镊装置和光驱动微转子的实验研究
4.1光镊系统的搭建
4.1.1光镊系统总体结构
4.1.2光镊系统部分部件的选择
4.2用于光驱动的微器件的设计加工和实验过程
4.2.1微器件材料的选择
4.2.2微器件的设计
4.2.3微器件的加工和光驱动实验过程
4.3光驱动微转子的实验结果
4.4本章小结
总结与展望
参考文献
攻读学位期间发表的学术论文
致谢
