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Two New Types of Microneedle Array Fabricated by X-ray lithography
机译:
X射线光刻技术制造的两种新型微针阵列
作者:
Yigui Li
;
Susumu Sugiyama
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
X-ray lithography;
microneedle array;
2.
X-ray Lithography Mask Fabricated by Excimer Laser Process
机译:
准分子激光制备的X射线光刻掩模
作者:
Yigui Li
;
Susumu Sugiyama
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
excimer laser;
mask projection;
LIGA mask;
3.
The Deflection and Frequency Analysis of the Inhomogeneous Silicon Cantilever Beam for Micro-relay
机译:
微继电器非均质硅悬臂梁的挠度和频率分析
作者:
Hong Huinan
;
Hu Guoqing
;
Chen Guangwen
;
Liu Wenyan
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
micro-relay;
homogeneous;
inhomogeneous;
deflection;
silicon cantilever beam;
4.
Theoretical Analysis of Grating Light Valve
机译:
光栅光阀的理论分析
作者:
J.Zhang
;
H. Fu
;
Y.Zhu
;
W. Chen
;
S. Huang
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
grating light valve;
diffraction;
diffractive efficiency;
5.
Optimization of torque on an optically driven micromotor by manipulation of the index of refraction
机译:
通过控制折射率来优化光驱微电机上的扭矩
作者:
Frank M. Wing III
;
Satish Mahajan
;
Walter Collet
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
MEMS;
microrotor;
radiation pressure;
FDTD;
6.
Polymer-derived ceramics based fuel atomizers
机译:
聚合物衍生的陶瓷基燃料雾化器
作者:
Z. Ma
;
L. An
;
X.Y. Chen
;
A. Hays
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
fuel atomizer;
fuel injector;
gas turbine engine;
polymer-derived ceramics;
microstereolithography;
high temperature;
combustion;
spray;
7.
Silicon Micro-hole Array Prepared by ICP
机译:
ICP制备的硅微孔阵列
作者:
Qingduo Duanmu
;
Anping Zhang
;
Guozheng Wang
;
Yanjun Gao
;
Ye Li
;
Delong Jiang
;
Lichen Fu
;
Jingquan Tian
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
micro-hole;
arrays;
etching;
ICP;
micromachining;
8.
Simulation and Comparison of Movable Membrane Design for MEMS Fabry-Perot Tunable Filter
机译:
MEMS法布里-珀罗可调滤波器的动膜设计仿真与比较
作者:
Wei Jiang
;
Fang Cui
;
Yu-nan Sun
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
MEMS;
fabry-perot tunable filter;
membrane structure;
simulation;
finite element analysis;
9.
Study on Application and Analysis of a Microaccelerometer with Magnetorheological Fluids
机译:
磁流变液微加速度计的应用与分析研究
作者:
Zhonghua Lin
;
Hong Huinan
;
Guoqing Hu
;
Wenyan Liu
;
Huijie Zhang
;
Lingling Lin
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
10.
Single Crystalline Silicon Micromirror Array for Maskless Photolithography in Protein Synthesis Systems
机译:
用于蛋白质合成系统中无掩模光刻的单晶硅微镜阵列
作者:
Yun-Ho Jang
;
Kook-Nyung Lee
;
Dong-Sik Shin
;
Yoon-Sik Lee
;
Yong-Kweon Kim
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
single crystalline silicon;
micromirror array;
peptide synthesis;
11.
Microfluid Oscillator Based on Thermo-capillarity
机译:
基于热毛细管的微流体振荡器
作者:
HUANG Teng-chao
;
SHEN Yi-bing
;
Xu Liu
;
Bai jian
;
HOU Xi-yun
;
Ye Hui
;
Lou Di
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
microfluid;
oscillator;
thermo-capillarity;
marangoni effect;
boron diffused;
12.
Origin Mechanism of Residual Stresses in Porous Silicon Film
机译:
多孔硅膜中残余应力的产生机理
作者:
Zhenkun Lei
;
Yilan Kang
;
Ming Hu
;
Yu Qiu
;
Hao Cen
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
Residual stress;
origin mechanism;
porous silicon;
micro-Raman spectroscopy;
x-ray diffraction;
13.
Lumped model for the comb-finger capacitance and electrostatic force
机译:
梳指电容和静电力的集总模型
作者:
X.Y. Chen
;
Z. Ma
;
G. U. Jensen
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
MEMS;
modeling;
com-finger capacitance;
electrostatic force;
14.
Microfluidic dye laser integration in a lab-on-a-chip device
机译:
芯片实验室设备中的微流控染料激光集成
作者:
Q. Kou
;
I. Yesilyurt
;
G. Escalier
;
J.-C. Galas
;
L. Coureau
;
Y. Chen
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
microfluidics;
dye laser;
soft lithography;
PDMS;
optical fiber cavity;
15.
Extraction of Exposure Modeling Parameters of Thick Resist
机译:
厚膜抗蚀剂曝光建模参数的提取
作者:
Liu Chi
;
Du Jinglei
;
Liu Shijie
;
Duan Xi
;
Luo Boliang
;
Zhu Jianhua
;
Guo Yongkang
;
Du Chunlei
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
thick resist lithography;
enhanced Dill model;
exposure parameters;
beam propagation matrix;
16.
Fabrication and Application of a Novel Freestanding Stencil Bi-material Cantilever Structure
机译:
新型独立式模板双材料悬臂结构的制作与应用
作者:
Weibing Wang
;
Dapeng Chen
;
Tianchun Ye
;
Liang Pan
;
Qingchuan Zhang
;
Xiaoping Wu
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
MEMS;
cantilever;
freestanding;
bi-material;
process;
17.
Fabrication of anisotropic structures with large aspect ratio and minimal roughness by using black silicon method
机译:
黑硅法制备高纵横比,粗糙度最小的各向异性结构
作者:
Yue Zhao
;
Jianjun Lai
;
Hong Zhou
;
Xinjian Yi
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
reactive ion etching;
black silicon method;
roughness;
anisotropy;
etching rate;
passivation;
microlens;
RF power;
lithography;
isotropy;
18.
BioMEMS for high-throughput handling and microinjection of embryos
机译:
BioMEMS用于高通量处理和显微注射胚胎
作者:
Ralph W. Bernstein
;
Matthew Scott
;
Olav Solgaard
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
BioMEMS;
embryo;
fruit-fly;
fluidic assembly;
microinjection;
array;
19.
Analysis of the structures and characteristics for an InP-based micromechanical tunable filter
机译:
基于InP的微机械可调滤波器的结构和特性分析
作者:
Bin Chen
;
Zhen Zhou
;
Yongqing Huang
;
Xiaomin Ren
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
micromechanical;
tunable filter;
cantilever;
20.
Design considerations for Electrostatically tunable InP based Fabry-Perot filters for WDM applications
机译:
用于WDM应用的基于静电可调式InP的Fabry-Perot滤波器的设计注意事项
作者:
Mithilesh A. Shah
;
Vicknesh Shanmugan
;
Ramam Akkipeddi
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
MOEMS;
Ⅲ-Ⅴ MEMS;
WDM;
tunable;
fabry-perot;
21.
A high-g Overload protected Accelerometer with a novel Microstructure
机译:
具有新型微结构的高克过载保护加速度计
作者:
CHEN Weiping
;
WANG Wei
;
TIAN Lei
;
LIU Xiaowei
;
HUO Mingxue
;
ZHANG Ruichao
;
ZHANG Deyin
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
accelerometer;
piezoresistor;
FEM;
overload;
22.
3D Align overlay verification using glass wafers
机译:
使用玻璃晶圆进行3D对齐叠加验证
作者:
Eric M.J. Smeets
;
Frans G.C. Bijnen
;
John Slabbekoorn
;
Henk W. van Zeijl
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
MEMS;
MOEMS;
FTBA;
Overlay;
lithography;
3DAlign~(TM);
glass wafer;
23.
Torsion-Mirror Optical Actuators with Compound Driving Structures
机译:
具有复合驱动结构的扭转镜光学执行器
作者:
Wengang Wu
;
Qinghua Chen
;
Guizhen Yan
;
Yilong Hao
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
MEMS;
torsion-mirror actuator;
compound driving;
mixed silicon micromachining;
optical coupling loss;
24.
The Study On the Compound X-Ray Refractive Lens Using LIGA Technique
机译:
利用LIGA技术研究复合X射线折射透镜
作者:
Jingqiu Liang
;
Zichun Le
;
Liangqiang Peng
;
Weibiao Wang
;
Weihua Lan
;
Anjie Ming
;
Futing Yi
;
Jian Ye
;
Bisheng Quan
;
Jinsong Yao
;
Ming Xuan
;
Lijun Wang
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
X-ray;
compound lens;
LIGA process;
PMMA;
25.
Study on optical parts of MOEMS optical switch with low insertion loss
机译:
低插入损耗的MOEMS光开关的光学部件研究
作者:
Anjie MING
;
Jingqiu LIANG
;
Weihua LAN
;
Wei DONG
;
Jinsong YAO
;
Weibiao WANG
;
Zichun LE
;
Weiyou CHEN
;
Lijun WANG
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
optical switch;
MOEMS;
V-grooves;
fiber;
ball lens;
self-assembling;
26.
The microfabrication using powder materials with excimer laser
机译:
粉末材料与准分子激光的微细加工
作者:
Chen Jimin
;
Yue Canfu
;
Zhang Yu
;
Wang Xubao
;
Zuo Tiechuan
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
excimer laser;
powder material;
microfabrication;
27.
Theoretical Calculation of Light-induced Forces and Torques on Complex Microrotors
机译:
复杂微转子上的光致力和扭矩的理论计算
作者:
Liu Yuxiang
;
Zhu ing
;
Huang Wenhao
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
optical tweezers;
microrotors;
spin symmetry;
gradient force;
28.
Mechanism and experiment study on photo-thermally excited bilayer silicon microcantilever resonators
机译:
光热激发双层硅微悬臂梁谐振器的机理与实验研究
作者:
Zhang shaojun
;
Liu Yueming
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
silicon microresonator;
bi-layered structure;
mechanism;
photothermal excitation;
29.
Parallel valveless micropump with two flexible diaphragms
机译:
带有两个柔性隔膜的无阀并联微型泵
作者:
Yufeng Su
;
Wenyuan Chen
;
Feng Cui
;
Weiping Zhang
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
30.
Electrochemical Etching of Deep Macropore Array on p-Type Silicon Wafers
机译:
p型硅晶片上的深大孔阵列的电化学刻蚀
作者:
Yanjun Gao
;
Guozheng wang
;
Qingduo Duanmu
;
Jingquan Tian
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
electrochemical etching;
macropore array;
HF;
p-type silicon;
31.
Fabrication of PDMS (Poly-Dimethyl Siloxane) Molding and 3D Structure by Two-Photon Absorption Induced by an Ultra Fast Laser
机译:
超快激光诱导的双光子吸收法制造PDMS(聚二甲基硅氧烷)成型件和3D结构
作者:
Shin Wook Yi
;
Seong Ku Lee
;
Mi Jung Cho
;
Hong Jin Kong
会议名称:
《》
|
2004年
关键词:
two-photon absorption;
femotosecond laser;
microfabrication;
stereo lithography;
PDMS;
32.
Progress in large-range and nanoscale micromotion stage
机译:
大范围和纳米级微动研究进展
作者:
Benyong Chen
;
Junru Wang
;
Yong Lei
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
micromotion stage;
magnetic suspension;
laser interferometer;
nanometer technology;
MOEMS;
33.
Preparation of multimode fiber grating by microprocessing modification and their temperature sensing properties
机译:
微加工改性制备多模光纤光栅及其感温特性
作者:
Sijin Xin
;
Desheng Jiang
;
Jianzhi Li
;
Jun Huang
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
precise machining;
fiber bragg grating;
photosensitivity;
temperature sensing;
34.
Silicon scanning mirror with 54.74° slanted reflective surface for fluorescence scanning system
机译:
具有54.74°倾斜反射面的硅扫描镜,用于荧光扫描系统
作者:
Kook-Nyung Lee
;
Yun-Ho Jang
;
Jaeho Choi
;
Hoseoung Kim
;
Yoon-Sik Lee
;
Yong-Kweon Kim
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
35.
Structure design of Si-based M-Z interference acceleration seismic geophone
机译:
硅基M-Z干扰加速度地震检波器的结构设计
作者:
Wu Bo
;
Chen Caihe
;
Zhang xiaoling
;
Cui Yuming
;
Ma guangpeng
;
zhang yanjun
;
zhong juanjuan
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
micro-optotical-electro-mechanical systems;
accelerometer;
M-Z interference;
structure design;
waveguide;
36.
The application of laser micro-machining technology in fiber optic sensing
机译:
激光微加工技术在光纤传感中的应用
作者:
Desheng Jiang
;
Sijin Xin
;
Renxuan Wei
;
Jun Huang
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
micromachining of fiber materials;
fiber bragg grating;
fiber optic sensor;
37.
Optical properties study of silicon oxynitride films deposited by RF magnetron sputtering
机译:
射频磁控溅射沉积氧氮化硅薄膜的光学性质研究
作者:
Yong Zhu
;
Peifu Gu
;
Hui Ye
;
Weidong Shen
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
RF sputtering;
Silicon Oxy-nitride thin film;
Optical constant;
Optical gap;
38.
Micro-fabrication assisted by laser trapped micro-particle tools
机译:
激光捕获微粒工具辅助的微细加工
作者:
Jian Bai
;
Zen-rong Zhu-ge
;
Xiao-na Wang
;
Xiyun Hou
;
Guoguang Yang
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
laser trapping;
micro-fabrication;
radiation pressure;
39.
Fabrication of grating waveguides based on Nano-imprint lithography and silicon mould replication techniques
机译:
基于纳米压印光刻技术和硅模具复制技术的光栅波导的制造
作者:
Liu Yueming
;
Masayoshi Esashi
;
Tian Weijian
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
grating waveguides;
nano-imprint lithography;
silicon mould;
replication process;
40.
Design of Electrostatically Levitated Micromachined Rotational Gyroscope Based on UV-LIGA Technology
机译:
基于UV-LIGA技术的静电悬浮微机械旋转陀螺仪设计
作者:
Feng Cui
;
Wenyuan Chen
;
Yufeng Su
;
Weiping Zhang
;
Xiaolin Zhao
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
micromachined gyroscope;
micromachined accelerometer;
rotor;
electrostatic levitation;
UV-LIGA;
41.
Dielectric-based Distributed Bragg Reflector (DBR) Mirrors for Tunable MOEMS applications
机译:
基于电介质的分布式布拉格反射镜(DBR)镜,适用于可调式MOEMS应用
作者:
S. Vicknesh
;
Mithilesh Shah
;
S. L. Teo
;
A.Ramam
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
DBR mirrors;
MOEMS;
ICP etching;
resonant cavity;
PECVD deposition;
fixed cavity filters;
42.
Electromagnetic MEMs eight-channel variable optical attenuator array
机译:
电磁MEMs八通道可变光衰减器阵列
作者:
Xuhan Dai
;
Xiaolin Zhao
;
Guifu Ding
;
Bingchu Cai
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
variable optical array;
power equalization;
electromagnetic;
mems;
array;
43.
Development of Microfabrication Technology for MEMS/MOEMS Applications
机译:
MEMS / MOEMS应用的微细加工技术的发展
作者:
Zheng Cui
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
micromachining;
MEMS;
standardization;
44.
A model for the micro-fabrication with selective laser sintering metal powders
机译:
选择性激光烧结金属粉末的微细加工模型
作者:
Canfu
;
Yue
;
Jimin
;
Chen
;
Tiechuan
;
Zuo
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
laser;
sintering;
model;
process parameters;
45.
Analysis on the optical MEMS pressure sensors based on circular multi-layer diaphragm
机译:
基于圆形多层膜片的光学MEMS压力传感器分析
作者:
Ming Li
;
Ming Wang
;
Tinting Wang
;
Hua Rong
;
Xuxing Chen
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
MEMS;
pressure sensor;
characteristic matrix;
residual stress;
46.
A Novel System To Measure MEMS Motion
机译:
一种测量MEMS运动的新型系统
作者:
Leng Changlin
;
Zhang Guoxiong
;
Yu Fusheng
;
Jiang Chengzhi
;
Zhong Ying
会议名称:
《MEMS/MOEMS Technologies and Applications II》
|
2004年
关键词:
MEMS;
optical measurement;
laser doppler;
resonator;
micro-electro-mechanical system;
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