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Simulation and Comparison of Movable Membrane Design for MEMS Fabry-Perot Tunable Filter

机译：MEMS法布里-珀罗可调滤波器的动膜设计仿真与比较

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MEMS Fabry-Perot tunable filter is obviously notable because of its mass production and easy integration. Membrane is the key portion of the filter as its structure directly affects the filter's performance and fabricating difficulty. In this paper, some typical membrane structures with different dimensions are simulated. Through making finite element analysis to these simulations and comparing of the results, we find out useful information such that foldaway and spiral cantilevers can achieve longer length in the same membrane area; the longer cantilevers are, the smaller electrostatic force is needed, accordingly the bias voltage is lower and the membrane curvature is smaller, etc. Then we use the information to analyze some important factors affecting membrane's physical and optical performance and make an optimum design.
机译：MEMS Fabry-Perot可调滤波器显然是值得注意的，因为它具有批量生产且易于集成的特点。膜是过滤器的关键部分，因为其结构直接影响过滤器的性能和制造难度。在本文中，模拟了一些具有不同尺寸的典型膜结构。通过对这些模拟进行有限元分析并比较结果，我们发现有用的信息，例如折叠和螺旋悬臂可以在同一膜面积上获得更长的长度。悬臂越长，所需的静电力就越小，因此偏压越低，膜曲率越小等。然后，我们使用这些信息来分析一些影响膜的物理和光学性能的重要因素，并进行优化设计。

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