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Simulation and comparison of movable membrane design for MEMS Fabry-Perot tunable filter

机译：MEMS FABRY-PEROT可调滤波器可移动膜设计的仿真与比较

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MEMS Fabry-Perot tunable filter is obviously notable because of its mass production and easy integration. Membrane is the key portion of the filter as its structure directly affects the filter's performance and fabricating difficulty. In this paper, some typical membrane structures with different dimensions are simulated. Through making finite element analysis to these simulations and comparing of the results, we find out useful information such that foldaway and spiral cantilevers can achieve longer length in the same membrane area; the longer cantilevers are, the smaller electrostatic force is needed, accordingly the bias voltage is lower and the membrane curvature is smaller, etc. Then we use the information to analyze some important factors affecting membrane's physical and optical performance and make an optimum design.
机译：MEMS Fabry-Perot可调过滤器显然是显着的，因为其批量生产和轻松集成。膜是滤波器的关键部分，因为其结构直接影响过滤器的性能和制造难度。在本文中，模拟了一些具有不同尺寸的典型膜结构。通过对这些模拟进行有限元分析并进行比较，我们发现了有用的信息，使得折叠和螺旋悬臂可以在相同的膜面积中实现更长的长度;较长的悬臂是，需要较小的静电力，因此偏置电压较低，膜曲率较小，然后我们使用这些信息来分析影响膜的物理和光学性能的一些重要因素，并制作最佳设计。

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